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    SORTER SYSTEM (400매/h)

    SEMI Standard에 준거(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
    얼라이너에 버퍼 기능을 설치하여 웨이퍼 교체를 가능하게 하였기 때문에 고처리율을 실현
    ID리더를 탑재하여 웨이퍼의 ID판독

    SORTER SYSTEM (400매/h)

    SEMI Standard에 준거(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
    얼라이너에 버퍼 기능을 설치하여 웨이퍼 교체를 가능하게 하였기 때문에 고처리율을 실현
    반송 Robot은 패스플리닝 방식을 채용하고 주행축 없이 병렬 배치의 카세트에 대응
    ID리더를 탑재하여 웨이퍼의 ID판독

    SORTER SYSTEM (700매/h)

    SEMI Standard에 준거(E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600)
    고처리율(700매/h)ID 리더를 탑재하여 웨이퍼의 ID판독
    반송 Robot은 수평다관절형을 2대 사용하여 주행축 없이 4FOUP 대응하고, 1대의 얼라이너로 얼라인먼트 실시