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    LHR3000 시리즈

    3축 원통 좌표형 Single Arm Clean Robot

    유리 기판 대응 3축 원통 좌표형 Clean Robot LHR3000 시리즈
    액정 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 유리 기판 반송에 적합합니다.

    LTHR4000 시리즈

    4축 원통 좌표형 Twin Arm Clean Robot

    유리 기판 대응 4축 원통 좌표형 Clean Robot LTHR4000 시리즈
    액정 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 유리 기판 반송에 적합합니다.

    LVHR3000 시리즈

    3축 원통 좌표형 진공 대응 Single Arm Clean Robot

    유리 기판 대응 3축 원통 좌표형 진공 대응 Clean Robot LVHR3000 시리즈
    액정 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 유리 기판 반송에 적합합니다.

    FTVHR4000 시리즈

    4축 원통 좌표형 링크식 진공 대응 Twin Arm Clean Robot

    마스크/유리 기판 대응 4축 원통 좌표형 링크식 고진공 대응 Clean Robot FTVHR4000 시리즈
    액정 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 마스크/유리 기판 반송에 적합합니다.