HOME ROBOT 얼라이너



    SAL2241

    50∼100mm용 얼라이너

    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응
    소경 웨이퍼 대응으로 풋프린트 소형화를 실현

    SAL38C2/SAL3361

    200∼300mm/75∼150mm용 광학식 얼라이너

    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응

    SAL4381

    75∼200mm용 광학식 얼라이너

    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼(실리콘, GaAs, 유리)
    위치 결정이 필요한 반송에 대응

    SAL4484

    100∼200mm용 광학식 얼라이너

    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응

    SAL46C6

    150∼300mm용 광학식 얼라이너

    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응

    SAL20C1

    300mm용 Edge Grip 얼라이너

    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응
    Edge Grip 방식을 채용하였기 때문에 웨이퍼에 대한 접촉을 최소한으로 가능

    SAL30C1

    300mm용 광학식 얼라이너

    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등에서 웨이퍼 위치 결정이 필요한 반송에 대응