HOME ROBOT 반도체로봇



    SCR3100S-PM 시리즈

    3축 원통 좌표형 Single Arm Clean Robot(소구경 웨이퍼용)

    슈퍼클린룸용 3축 원통 좌표형 Clean Robot SCR3100CS 시리즈
    풋프린트 소형화를 실현함으로써 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 소경 웨이퍼 반송

    GCR4000-AM 시리즈

    4축 수평다관절형 Single Arm Clean Robot

    슈퍼클린룸용 다축 Type, 4축 수평다관절형 Clean Robot GCR4000-AM 시리즈 300mm
    대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    GCR4000-PM 시리즈

    4축 수평다관절형 Single Arm Clean Robot

    슈퍼클린룸용 다축 Type, 4축 수평다관절형 Clean Robot GCR4000-PM 시리즈 300mm
    대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    GHR4206 시리즈

    4축 수평다관절형 Single Arm Clean Robot

    슈퍼클린룸용 다축 Type, 4축 수평다관절형 Clean RobotGHR4206
    φ300mm 대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    MCR3000C

    3축 원통 좌표형 Single Arm Clean Robot

    슈퍼클린룸용 300mm 대응 MCR3000C 시리즈
    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    SCR3000CS 시리즈

    3축 원통 좌표형 Single Arm Clean Robot

    슈퍼클린룸용 3축 원통 좌표형 Clean Robot SCR3000CS 시리즈
    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    SHR3000 시리즈

    3축 원통 좌표형 Single Arm Clean Robot

    슈퍼클린룸용 3축 원통 좌표형 Robot SHR3000 시리즈장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.
    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    GCR4280-AM 450mm Wafer 반송

    4축 수평다관절형 Single Arm Clean Robot(450mm 웨이퍼 반송 가능)

    슈퍼클린룸용 다축 Type, 4축 수평다관절형 Clean RobotGCR4280-AM 시리즈
    300mm, 450mm 대응 반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    GTCR5000 시리즈

    5축 수평다관절형 Twin Arm Clean Robot

    300mm 대응 5축 수평다관절형 Clean Robot GTCR5000 시리즈
    Single Arm이지만 Twin Chuck을 탑재하였기 때문에 트윈 암의 기능을 보유

    GTHR5281 시리즈

    5축 수평다관절형 Twin Arm Clean Robot

    300mm, 3FOUP 대응 5축 수평다관절형 Clean Robot GTHR5281
    Single Arm이지만 Twin Chuck을 탑재하였기 때문에 Twin Arm의 기능을 보유

    MTCR4000 시리즈

    4축 원통 좌표형 Twin Arm Clean Robot

    슈퍼클린룸용 300mm 대응 MTCR 시리즈
    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    MTCR Clip Chuck

    다이싱 프레임용

    카세트 내 4.76mm Pitch에 박혀 있는 다이싱 프레임을 꺼낼 수 있다.
    반송 중인 프레임을 항상 감시 가능

    STCR4000S

    4축 원통 좌표형 Twin Arm Clean Robot

    슈퍼클린룸용 4축 원통 좌표형 Clean Robot STCR4000S 시리즈
    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    STHR4000 시리즈

    4축 원통 좌표형 Twin Arm Clean Robot

    슈퍼클린룸용 4축 원통 좌표형 트윈 암 Robot STHR4000 시리즈
    반도체 제조 장치 내부나 검사 장치 등의 웨이퍼 반송에 적합합니다.

    SVCR3000 시리즈

    3축 원통 좌표형 진공 대응 Single Arm Clean Robot

    진공 대응 3축 원통 좌표형 Robot SVCR3000 시리즈
    진공 체임버 내에서의 웨이퍼 반송에 사용할 수 있습니다.

    DTVHR4000 시리즈

    4축 원통 좌표형 링크식 진공 대응 Twin Arm Clean Robot

    4축 원통 좌표형 링크식 고진공 대응 Clean Robot DTVHR4000 시리즈
    링크 구조는 금속 벨트나 기어 등을 사용하지 않고 전동체에 의해 연결된 구성

    GTVHR5000 시리즈

    5축 수평다관절형 진공 대응 Twin Arm Clean Robot

    5축 진공 수평다관절형 Clean Robot GTVHR5000 시리즈
    다양한 장치 레이아웃에 대응 가능

    STVCR4000 시리즈

    4축 원통 좌표형 진공 대응 Twin Arm Clean Robot

    진공 대응 4축 원통 좌표형 Robot STVCR4000 시리즈
    진공 체임버 내에서의 웨이퍼 반송에 사용할 수 있습니다.

    SWCR 시리즈

    3축 원통 좌표형 방수 대응 Single Arm Clean Robot

    방수 대응 3축 원통 좌표형 Robot SWCR 시리즈
    300mm 웨이퍼 대응 반전+Edge Grip 기능 첨부

    SWHR3156

    3축 원통 좌표형 방수 대응 Single Arm Clean Robot

    방수 대응 3축 원통 좌표형 Robot SWHR3156 시리즈
    300mm 웨이퍼 대응 반전+Edge Grip 기능 첨부

    STWHR4156

    4축 원통 좌표형 방수 대응 Twin Arm Clean Robot

    방수 대응 4축 원통 좌표형 Robot STWHR4156 시리즈
    LSI 제조 공정에서 산, 알칼리 미스트 분위기중에서의 웨이퍼 반송에 적합합니다.